氣動(dòng)隔膜閥是由空氣動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的開關(guān)，具有快速、安全、可靠、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種工藝氣體、液體、真空等管道。本文將詳細(xì)介紹氣動(dòng)隔膜閥在半導(dǎo)體行業(yè)的工作原理、特點(diǎn)和應(yīng)用。
一、氣動(dòng)隔膜閥的工作原理
氣動(dòng)隔膜閥主要由閥體、閥板、隔膜和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組成。當(dāng)空氣壓力作用于隔膜時(shí)，隔膜會(huì)變形，從而驅(qū)動(dòng)閥板移動(dòng)并實(shí)現(xiàn)開關(guān)操作。氣動(dòng)隔膜閥有兩種驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)開關(guān)閥和氣動(dòng)關(guān)閉閥，可根據(jù)實(shí)際需要選擇。
氣動(dòng)隔膜閥的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是將一組薄的半球形金屬薄膜夾在閥體內(nèi)，作為閥桿與流體之間的屏障。閥門關(guān)閉是通過閥桿頭和金屬薄膜將閥盤壓在閥座上來實(shí)現(xiàn)的。閥門通過內(nèi)部彈簧打開。當(dāng)閥桿升起并與薄膜接觸時(shí)，閥盤升起。由于閥門的行程等于薄膜的行程，因此該閥門的特性升程遠(yuǎn)小于普通閥門。
二、氣動(dòng)隔膜閥的特點(diǎn)
1、結(jié)構(gòu)簡單：氣動(dòng)隔膜閥結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，安裝維護(hù)方便。
2、密封性能好：膜與閥板之間的密封采用軟密封結(jié)構(gòu)，密封性能好，能有效防止氣液泄漏。
3、動(dòng)作靈敏：氣動(dòng)隔膜閥的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用氣動(dòng)模式，動(dòng)作靈敏，可實(shí)現(xiàn)快速開關(guān)。
4、適用范圍廣：氣動(dòng)隔膜閥適用于各種工藝氣體、液體、真空等管道，應(yīng)用范圍廣。
5、高安全性：氣動(dòng)隔膜閥采用隔膜作為密封件，可有效避免材料卡住或粘結(jié)，提高設(shè)備安全性。
6、維護(hù)方便：氣動(dòng)隔膜閥的維護(hù)非常方便，只需定期清洗和更換隔膜即可。
